UV能量計又稱為紫外能量計、UV焦耳計等。是用于檢測紫外能量的一種儀器。儀器用于測量不同波段的UV能量，尤其是用于印刷機器上。確保印刷及干燥之過程達到理想的質(zhì)量控制。

一、儀器在光刻固化行業(yè)的應(yīng)用

紫外固化光刻膠又稱為光致抗蝕劑，它由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合物。感光樹脂經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng)，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)適當(dāng)?shù)娜軇┨幚?，容去可溶性部分，得到所需圖像。紫外固化光刻膠是制造印刷電路板(PCB)電路圖形的關(guān)鍵材料，主要分為濕膜光刻膠(又稱為“液態(tài)光致抗蝕劑”)和干膜光刻膠兩大類。

二、光刻固化的過程

1.基片前處理：為確保光刻膠能和晶圓表面很好粘貼，形成平滑且結(jié)合得很好的膜，必須進行表面準備，保持表面干燥且干凈。

2. 涂光刻膠：涂膠的目標是在晶圓表面建立薄的、均勻的，并且沒有缺陷的光刻膠膜。

3. 前烘(軟烘焙)：前烘的目的是去除膠層內(nèi)的溶劑，提高光刻膠與襯底的粘附力及膠膜的機械擦傷能力。

4. 對準和曝光：保證器件和電路正常工作的決定性因素是圖形的正確對準，以及光刻膠上的圖形尺寸的形成。所以，涂好光刻膠后，是先把所需圖形在晶圓表面上進行定位或?qū)?。然后是通過曝光將圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠涂層上。

5. 顯影：顯影是指把掩膜版圖案復(fù)制到光刻膠上。

6. 后烘(堅膜)：經(jīng)顯影以后的膠膜發(fā)生了軟化、膨脹，膠膜與硅片表面粘附力下降。為了保證下一道刻蝕工序能順利進行，使光刻膠和晶圓表面更好地粘結(jié)，必須繼續(xù)蒸發(fā)溶劑以固化光刻膠。

7. 刻蝕：刻蝕是通過光刻膠暴露區(qū)域來去掉晶圓最表層的工藝，主要目標是將光刻掩膜版上的圖案精確地轉(zhuǎn)移到晶圓表面。

8. 去除光刻膠：刻蝕之后，圖案成為晶圓最表層永久的一部分。作為刻蝕阻擋層的光刻膠層不再需要了，必須從表面去掉。

三、儀器的選擇及應(yīng)用

UV能量計可使用范圍非常的廣，如UV干燥機(UV光固化)、UV爆光設(shè)備、UV油墨、UV涂料、UV膠水、UV印刷、PCB電路板曝光、UV地板漆、UV上光等。作為高質(zhì)量，高精度的測量儀器，用于測量不同光源在一定條件下的照射能量值，是UV生產(chǎn)過程中極為重要的固化質(zhì)量檢測儀器，能良好的控制和實現(xiàn)產(chǎn)品固化質(zhì)量一致性必備工具能量計測量的光譜、感應(yīng)紫外線波長，等參數(shù)都是按照國家標準執(zhí)行。

使用UV能量計建議選擇林上科技，林上科技有適用于LED 燈的UV能量計也有適用于汞燈的。測量UV固化建議使用LS128，會為您測量紫外線帶來方便。